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Title : 半導體廠潔淨室火場數值模型之研究
Date : 2003-02-01
Author : 國立台灣大學機械研究所 / 黃裕霖
Summary: 本文主要是利用計算流體力學的方法，探討半導體廠潔淨室中火場的數值預測模型之適用性及準確性。首先利用Heskestad和Lutton[1]所做的縮小尺寸的潔淨室火場實驗，藉由引入不同的紊流模型和燃燒模型的組合考慮熱輻射的影響，來模擬縮小尺寸的火場預測，並與其實驗值作比較。
本文所採用的三種燃燒模型來模擬潔淨室火災分別為：體積熱源模型Voluetric Heat Source（VHS）Model、渦流耗散模型Eddy Break-Up（EBU）Model、假定機率分布函數模型Presumed Probability Density Function（prePDF）Model。由於火場中溫度變化非常大通常必須考慮熱輻射的效應，本文模擬熱輻射所造成的效應，採用離散傳遞熱輻射模型Discrete Transfer Radiation Model（DTRM）。
如此，利用此潔淨室火場模擬的方法，可當作一種優良的研究工具，以獲得潔淨室消防設計的改善及建廠規劃設計之參考。
*關鍵字：潔淨室、火災、數值模擬、燃燒模型、熱輻射模型


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